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Epitaxial growth on porous GaAs substrates - 01/03/13

Doi : 10.1016/j.crci.2012.06.012 
Jan Grym a, , Dušan Nohavica a, Petar Gladkov a, Eduard Hulicius b, Jiří Pangrác b, Kateřina Piksová c
a Institute of Photonics and Electronics AS CR, v.v.i., Chaberska 57, 18251 Praha 8, Czech Republic 
b Institute of Physics AS CR, v.v.i. Cukrovarnicka 10, 16200 Praha 6, Czech Republic 
c Faculty of Nuclear Sciences and Physical Engineering, CTU Prague, Břehová 7, 11519 Praha 1, Czech Republic 

Corresponding author.

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Abstract

We report on the electrochemical preparation of porous GaAs substrates in fluoride-iodide aqueous electrolytes for the lattice mismatched epitaxial growth from the vapor phase. The aim is to gain control over the uniformity of the pore nucleation layer and pore branching below this layer to achieve structures with a high degree of porosity and periodicity while leaving minimum damage on the substrate surface. Layers of InxGa1-xAs with varying In content are grown on GaAs substrates with different pore geometries and depths. Substantial differences in the surface morphology and photoluminescence efficiency of the layers grown on porous and conventional substrates are observed.

Le texte complet de cet article est disponible en PDF.

Keywords : Electrochemical etching, Porous semiconductors, Epitaxial growth, GaAs, MOVPE


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Vol 16 - N° 1

P. 59-64 - janvier 2013 Retour au numéro
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  • Macroporous silicon and its application in sensing
  • Ralf B. Wehrspohn, Stefan L. Schweizer, Benjamin Gesemann, Daniel Pergande, Torsten M. Geppert, Susanne Moretton, Armin Lambrecht
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